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凯发K8官方旗舰厅|尾随单机游戏|直播预告近衍射极限晶圆级完美共形接触式光刻技术

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　　光刻是现代微/纳米技术中的关键使能技术ღ★ღ✿◈。在分辨率ღ★ღ✿◈、吞吐量和成本之间实现最佳权衡是光刻技术研发的重点凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈。当前工业界常用的光刻技术ღ★ღ✿◈，如直写光刻与投影光刻ღ★ღ✿◈，可实现极高的分辨率ღ★ღ✿◈，但往往以光学系统复杂性增加为代价ღ★ღ✿◈，从而显著提高了整体生产成本ღ★ღ✿◈。接触式光刻ღ★ღ✿◈，在理论上也拥有光学衍射极限的分辨率且拥有极低成本优势ღ★ღ✿◈，在实验室研发中被广泛使用ღ★ღ✿◈，但因共形接触ღ★ღ✿◈、对缺陷极度敏感及硬接触带来的掩模版损伤等难题尾随单机游戏ღ★ღ✿◈，无法用于规模化生产ღ★ღ✿◈。本报告中ღ★ღ✿◈，我们将分享一种利用可转移的光刻胶实现完美共形接触式光刻的技术ღ★ღ✿◈，该技术拥有近衍射极限分辨率凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈、大面积均匀性凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈、近零掩模版损伤等优势尾随单机游戏ღ★ღ✿◈，使得接触式光刻在工业界应用成为了可能ღ★ღ✿◈。

　　段辉高ღ★ღ✿◈，2004年及2010年获兰州大学物理学学士和博士学位ღ★ღ✿◈，曾先后在中科院电工所ღ★ღ✿◈、美国麻省理工学院ღ★ღ✿◈、新加坡科技研究局材料工程研究院ღ★ღ✿◈、德国斯图加特大学及马普固体所ღ★ღ✿◈、英国南安普顿大学等机构从事科研工作ღ★ღ✿◈，2012年加入湖南大学尾随单机游戏ღ★ღ✿◈。曾获全国百优尾随单机游戏ღ★ღ✿◈、国家优青尾随单机游戏ღ★ღ✿◈、国家杰青等人才项目支持尾随单机游戏ღ★ღ✿◈，在Nature Nanotechnologyღ★ღ✿◈、Nature Energyღ★ღ✿◈、Light: Science & Applications等国内外期刊上发表论文290余篇凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈，H因子为74ღ★ღ✿◈，现担任《极端制造（英文）》ღ★ღ✿◈，Researchღ★ღ✿◈、《光学 精密工程》等5本期刊编委或副主编凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈。段辉高在电子束光刻极限分辨率机理ღ★ღ✿◈、离子束增减材协同制造工艺凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈、大幅面高分辨完美接触式光刻技术等方面做出了系列原创性工作凯发K8官方旗舰厅ღ★ღ✿◈，为微纳光学及平面光学等器件研发提供了超精密微纳制造解决方案ღ★ღ✿◈。

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