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K8凯发直播预告近衍射极限晶圆级完美共形|三国敢达|接触式光刻技术

【概要描述】　　北京时间2025年4月11日晚八点，iCANX Talks 第222期邀请到了湖南大学教授段辉高作为主讲嘉宾，南方科技大学教授郭传飞、北京大学助理教授郑雨晴K8凯发，浙江大学研究员彭博宇担任研讨嘉宾K8凯发，北京大学教授张海霞担任主持人。 　　光刻是现代微/纳米技术中的关键使能技术。在分辨率、吞吐量和成本之间实现最佳权衡是光刻技术研发的重点。当前工业界常用的光刻技术，如直

K8凯发直播预告近衍射极限晶圆级完美共形|三国敢达|接触式光刻技术

【概要描述】　　北京时间2025年4月11日晚八点，iCANX Talks 第222期邀请到了湖南大学教授段辉高作为主讲嘉宾，南方科技大学教授郭传飞、北京大学助理教授郑雨晴K8凯发，浙江大学研究员彭博宇担任研讨嘉宾K8凯发，北京大学教授张海霞担任主持人。 　　光刻是现代微/纳米技术中的关键使能技术。在分辨率、吞吐量和成本之间实现最佳权衡是光刻技术研发的重点。当前工业界常用的光刻技术，如直

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　　北京时间2025年4月11日晚八点★ღღ，iCANX Talks 第222期邀请到了湖南大学教授段辉高作为主讲嘉宾★ღღ，南方科技大学教授郭传飞★ღღ、北京大学助理教授郑雨晴K8凯发★ღღ，浙江大学研究员彭博宇担任研讨嘉宾K8凯发★ღღ，北京大学教授张海霞担任主持人★ღღ。

　　光刻是现代微/纳米技术中的关键使能技术★ღღ。在分辨率★ღღ、吞吐量和成本之间实现最佳权衡是光刻技术研发的重点★ღღ。当前工业界常用的光刻技术★ღღ，如直写光刻与投影光刻★ღღ，可实现极高的分辨率★ღღ，但往往以光学系统复杂性增加为代价★ღღ，从而显著提高了整体生产成本★ღღ。接触式光刻★ღღ，在理论上也拥有光学衍射极限的分辨率且拥有极低成本优势★ღღ，在实验室研发中被广泛使用三国敢达★ღღ，但因共形接触★ღღ、对缺陷极度敏感及硬接触带来的掩模版损伤等难题★ღღ，无法用于规模化生产三国敢达★ღღ。本报告中★ღღ，我们将分享一种利用可转移的光刻胶实现完美共形接触式光刻的技术★ღღ，该技术拥有近衍射极限分辨率★ღღ、大面积均匀性三国敢达★ღღ、近零掩模版损伤等优势★ღღ，使得接触式光刻在工业界应用成为了可能K8凯发★ღღ。

　　段辉高三国敢达K8凯发★ღღ，2004年及2010年获兰州大学物理学学士和博士学位★ღღ，曾先后在中科院电工所★ღღ、美国麻省理工学院★ღღ、新加坡科技研究局材料工程研究院★ღღ、德国斯图加特大学及马普固体所★ღღ、英国南安普顿大学等机构从事科研工作三国敢达★ღღ，2012年加入湖南大学★ღღ。曾获全国百优★ღღ、国家优青★ღღ、国家杰青等人才项目支持★ღღ，在Nature Nanotechnology★ღღ、Nature Energy★ღღ、Light: Science & Applications等国内外期刊上发表论文290余篇★ღღ，H因子为74K8凯发K8凯发★ღღ，现担任《极端制造（英文）》★ღღ，Research★ღღ、《光学 精密工程》等5本期刊编委或副主编K8凯发★ღღ。段辉高在电子束光刻极限分辨率机理★ღღ、离子束增减材协同制造工艺★ღღ、大幅面高分辨完美接触式光刻技术等方面做出了系列原创性工作★ღღ，为微纳光学及平面光学等器件研发提供了超精密微纳制造解决方案三国敢达★ღღ。K8凯发(中国)天生赢家·一触即发凯发K8国际首页★ღღ，k8凯发天生赢家一触即发★ღღ，

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